ABB OA-ICOS GLA231 系列，支持 HF、HCI、NH₃ 的單氣體或多氣體配置：

OA-ICOS™ GLA231-EAA：NH₃ 和 H₂O 高性能機(jī)架式分析儀

OA-ICOS™ GLA231-HF：HF 和 H₂O 高性能機(jī)架式分析儀

OA-ICOS™ GLA231-HFHC：HCl、HF 和 H₂O 高性能機(jī)架式分析儀

OA-ICOS GLA231系列高性能機(jī)架式分析儀

概述

ABB OA-ICOS 氣體分析儀繼承了 Los Gatos Research 的優(yōu)良傳統(tǒng)和輝煌業(yè)績(jī)，采用離軸積分腔輸出光譜（OAICOS）技術(shù)，這是第四代腔增強(qiáng)吸收技術(shù)。

OA-ICOSTM 工業(yè)痕量氣體分析儀旨在以?xún)?yōu)異的靈敏度、準(zhǔn)確度、精密度和響應(yīng)時(shí)間，滿(mǎn)足客戶(hù)的苛刻要求。它簡(jiǎn)單易用，可在幾分鐘內(nèi)啟動(dòng)，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，并且只需極少的預(yù)防性維護(hù)。

該系列氣體分析儀非常適用于：

• 空氣分子污染（AMC）監(jiān)測(cè)：用于確保半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)（FAB）工藝和人員的健康安全

• 前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）和氣相沉積室監(jiān)測(cè)與傳統(tǒng)的光腔衰蕩光譜技術(shù)相比，離軸 ICOS 技術(shù)具有諸多優(yōu)勢(shì)，例如：更加可靠耐用、更短測(cè)量時(shí)間、使用的光腔和反射鏡可現(xiàn)場(chǎng)維修。

所有 ABB 儀器均內(nèi)置計(jì)算機(jī)（采用 Linux 操作系統(tǒng)），該計(jì)算機(jī)會(huì)將每次分析的結(jié)果和相關(guān)指標(biāo)存儲(chǔ)在內(nèi)部硬盤(pán)上，從而實(shí)現(xiàn)無(wú)需人員值守的長(zhǎng)期運(yùn)行。相關(guān)數(shù)據(jù)則可以通過(guò)模擬、數(shù)字（RS232）和 ModbusTM1 的輸出方式源源不斷地導(dǎo)出。此外，這系列儀器還可以通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程控制，用戶(hù)無(wú)需身處現(xiàn)場(chǎng)，就可以控制儀器、從儀器中獲取數(shù)據(jù)，以及對(duì)儀器進(jìn)行診斷。該系列儀器還可以保存所測(cè)氣體的完整光譜，用于故障排除，甚至在過(guò)程發(fā)生意外變動(dòng)后，遠(yuǎn)程優(yōu)化分析儀。

功能和優(yōu)勢(shì)

• 支持 HF、HCI、NH3 的單氣體或多氣體配置

• 提供高精度、準(zhǔn)確的 H2O 測(cè)量結(jié)果

• 提供 0-5V 和 4-20 mA 模擬輸出（標(biāo)配），以及Modbus TCP（選購(gòu)）

• 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測(cè)量亞 ppb 級(jí)別濃度時(shí)，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能

• 提供觸控?cái)?shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)

• 提供主要密碼保護(hù)，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全

• 經(jīng)過(guò)優(yōu)化的零氣性能，以可靠地確認(rèn)過(guò)程事件

• 提供可定制的校準(zhǔn)套件和性能認(rèn)證文件包

• 堅(jiān)固耐用；所需的維護(hù)工作很少并且花費(fèi)較低

• 可輕松更換長(zhǎng)期受到污染的部件（過(guò)濾器）和正常老化部件（泵隔膜）

• 服務(wù)工程師可現(xiàn)場(chǎng)診斷并更換其他大多數(shù)部件

• 鏡面清潔可現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行，無(wú)需在工廠(chǎng)費(fèi)時(shí)維修